1. 利来w66(中国区)_来利国际旗舰

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    LED步进式光刻机

    LED步进式光刻机

    产品特点 适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺,采用超大曝光视场,大大减少曝光次数,显著提高产能;同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点。 

    产品应用

    应用范围:LED晶圆。

    产品参数

    主要参数加工尺寸4”、6“晶圆
    加工速度4", 137pcs/h
    6", 110pcs/h
    加工精度分辨率2μm L/S
    平台参数定位精度
    X: ±200nm
    Y: ±200nm
    Z: ±350nm
    Rx Ry Rz:10urad
    激光器参数光源:2000W UV Lamp,波长365nm
    感光区域:53*38.5mm
    工作照度:>550mW/cm2(New lamp)
    光源均匀度:≤3%
    Tact time4”:43.1秒(第一片),循环TT 25.6秒
    6”:49.1秒(第一片),循环TT 31.6秒
    稼动率>95%


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